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電子顯微鏡原理

?構成電子顯微鏡的元件是輻射源、透鏡和探測器,從文字上看,它的結構與光學顯微鏡非常相似。然而,它們的原理都與光學顯微鏡顯著不同。

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首先,電子束與空氣中的分子碰撞,立即衰減消失。因此,電子束的產生和照射必須在真空中進行。
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其次,一般光學系統(tǒng)中使用的玻璃透鏡傳輸電子束,因此為了折射電子束,需要使用施加磁場來聚焦電子束的磁透鏡。
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此類鏡頭的一個特點是光學像差較大,為了改善這一點,它們被設計成較小的數值孔徑。這使得電子顯微鏡具有較深的焦深,從而可以進行深度的三維觀察。
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標準電子顯微鏡分為兩類:
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1.透射電子顯微鏡 (TEM)
這是一種使電子束穿過樣品并根據其衰減獲得對比度的方法。為了使電子束能夠通過,必須將樣品厚度調整至極薄。電子噴射的強度稱為加速電壓,在300 kV的加速電壓下,波長極短為0.00197 nm,分辨率也為0.1 nm,與源的尺寸數量級材料。換算成最高放大倍數時,這是80萬倍,是光學顯微鏡的800倍,可見高分辨率。透射電子顯微鏡觀察穿過樣品的電子,因此非常適合觀察樣品極小區(qū)域內的內部結構,例如晶體結構。
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2.掃描電子顯微鏡(SEM)
當在真空中用電子束照射材料時,會發(fā)射二次電子、反射電子、特征X射線等。掃描電子顯微鏡圖像是通過掃描空間聚焦電子束并根據二次電子和背散射電子信號形成圖像來創(chuàng)建的。由于二次電子是在樣品表面附近產生的,因此二次電子圖像適合觀察樣品上的微小不規(guī)則性。背散射電子是與構成樣品的原子碰撞并被反彈回來的電子,背散射電子的數量取決于樣品的組成(原子序數、晶體取向等)。因此,背散射電子圖像適合評估樣品表面的成分分布。
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當電子束擊中樣品時,構成其表面的原子被激發(fā)并發(fā)射電子。另外,還會發(fā)射反射電子和特征X射線,但它們被稱為二次電子,可以通過點掃描所發(fā)射的二次電子的強度來獲得。
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